大部分廠家都會指導操作使用，如果在使用中，確定拿不準，可致電廠家咨詢，我們會耐心提供技術支持和指導。對真空爐進行維修后，要進行烘爐、必須對真空爐進行真空檢漏。真空爐烘爐前，可用1000V搖表檢測真空爐的絕緣，正常不小于1000Ω。
真空爐烘爐分三個階段：
①水分排出期0～200℃，是真空爐保溫層中的水分和真空爐體中潮氣的排出期，必須檢查真空爐真空度，同時保溫時間較長。
②真空爐體放氣量大的溫度區一般在500℃左右，因真空爐放氣量比較大，這時升溫不超過50℃/h。保溫時間一般在60分鐘以上。
③保溫期1200℃左右，加熱每升高100～200℃，要進行保溫一段時間，升溫過快易損壞保溫層、真空爐放氣不完全。
(1)編制真空爐使用維護操作規程，建立真空爐運行記錄和修理檔案，統計運行累積工作時間，加強真空爐日常維護，掌握設備技術狀態變化趨勢，及早發現故障損壞苗頭，避免屬于事故搶修性質的維修，并根據真空爐工作負荷和運行狀況，提前有針對性地準備真空爐修理用零部件，編制真空爐運行維護方案。如真空爐加熱元件的使用壽命長短與工作溫度、真空爐內產品介質、產品數量及操作情況等許多因素有關，在每天24小時加工生產的情況下，真空爐加熱元件和隔熱屏的更換大約每兩三年進行一次． 這取決于釬焊工作的類型和使用次數。真空爐一般在春秋季節泄漏故障較多，長期閑置的真空爐在次使用時真空爐泄漏故障比較易發生。這時間就必須進行真空檢漏，真空檢漏一般采取每月一次測壓升率:
1烘爐
在真空爐真空度不大于2.66Pa時，加熱室通電烘爐：
a、由室溫升溫至300℃（參考時間30分鐘），保溫60分鐘
b、繼續升溫至550℃（參考時間30分鐘），保溫60分鐘
c、繼續升溫至800℃（參考時間30分鐘），保溫60分鐘
d、繼續升溫至1100℃（參考時間30分鐘），保溫30分鐘
e、繼續升溫至1300℃（參考時間30分鐘），保溫30分鐘注：爐子應緩慢升溫，烘爐除氣程序為參考程序，可根據實際情況重復上述過程。
2測極限真空度真空爐溫度降至50℃時，測量真空度應小于6*10-4Pa。
3測量壓升率
爐子冷卻至室溫時，測量壓升率，應小于6.4*10-4 Pa/h
壓升率： △P＝（ P2—P1）×60／T（Pa／h）式中：
P1：抽空至極限真空度，關閉閥15分鐘后的真空度（Pa）
P2：P1之后一段時間間隔（30或60分鐘）的真空度（Pa）
T：兩次測量的時間間隔（min）
操作工應掌握設備泄漏變化趨勢，如真空設備連續停機一個禮拜，要空運轉一次（進行烘爐）。
在真空系統檢漏時，除臨時應急維修用真空泥糊堵外，有氦質譜檢漏儀可用氦質譜檢漏儀進行真空檢漏，如沒氦質譜檢漏儀可用醫用針管吸丙酮或乙醚射到所懷疑的漏點處，觀察真空表讀數有無變化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，進行檢漏。找到漏點以后進行維修（一般密封圈老化比較多），定時檢查真空爐的滑閥泵、羅茨泵、維持泵、擴散泵油，如發現油遇水乳化，真空下跌，必須更換上面4個泵油，應每周檢查一次油位和油的質量。油擴散泵有積炭可用化學酸洗的方法清洗。
(2)真空爐維修好后的使用初期要經常進行檢查，檢查使用后的真空爐表溫度和爐子實際溫度是否一致(定期進行真空計、溫控儀、熱電偶、電壓表、電流表的檢定、校準工作），檢查三相加熱體是否存在過熱損傷情況、溫度不均或發白等現象。對于三相高溫真空爐，以及真空電阻爐容量超過100kW時，每相、每一個加熱區都應安裝有電流表，發現真空爐溫與儀表指示不正常，及時分析處理。
(3)不能超負荷使用真空爐，真空爐的最高使用溫度是指元件在真空中允許的本身表面溫度，并不是指加熱物質的溫度或加熱元件周圍的溫度。要注意真空電熱元件本身的溫度一般比它周圍的介質溫度或被加熱溫度高100℃。
(4)要避免加熱元件和產品發生反應，尤其是銅、鋁、鋅、錫、鉛等與真空加熱元件接觸，無論是細粉、熔液或蒸汽等，防止在電加熱體表面侵蝕形成“麻坑”，截面變小，最后過熱而燒斷。
(5)測量真空爐溫均勻性時，應注意測溫觸點的定位捆綁方式，以及距加熱元件的遠近。真空爐內經常(至少每天或每班使用前)用毛刷、掃帚或壓縮空氣、吸塵器等清潔爐膛，要防止爐內氧化皮等雜質掉在電熱元件上，發生短路，甚至燒壞鉬加熱棒。底板、鉬加熱棒、爐保溫層等耐熱鋼構件每使用一段時間，應該進行清理，嚴禁敲擊，可小心清除其氧化皮。氧化鐵皮等雜質如不及時清除，就會熔融處與保溫層發生打火，使鉬絲熔化。
(6)真空爐子升溫后，不能突然破壞真空系統，更不可打開真空爐爐門。注意充大氣進去前,應關閉真空計開關,防止真空計老化。當溫度高于400℃時，不得急劇冷卻。對于真空加熱元件在溫度高、真空度不好以及冷熱變化大情況下，容易引起氧化。對于鉬加熱爐，正常使用維護中注意應冷卻至200℃以下方可停送保護氮氣。 80℃以下才能打開爐門。
(7)冷卻系統是真空爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，否則水溫升高造成停機。這是真空爐工作時常披忽視的問題 當無人管理時可能會導致真空爐的重大毀壞。用生物分解化學輔助方法處理冷卻水，目的是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積， 以使水流暢通。這一般采用一種自動裝置來完成，它可以監測水的導電性，自動補充化學劑，沖冼水路，添加新鮮水。與附屬蒸氣過濾系統配合，這種方法還可以保證水的pH 值控制， 防止在冷卻水系統中多余礦物質沉積。在系統工作穩定后，至少應每月一次進行水質試驗以防過處理或欠過理。真空爐外殼和熱交換器材料的試驗樣品也應放在水路系統中，每年做一次重量損失檢驗以檢查處理的效果。對擴散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該經常檢查。如果堵塞了，擴散泵將會過熱并喪失功能，而且還進一步引起擴散泵加熱器燒毀，造成昂貴的、費時的修理。當蛇形冷卻水管堵塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。
(8)最關鍵是做好停電應急措施，控制柜應有電源急停裝置。必須做好停電的預防措施！碰上突然停電時可用發電機抽冷卻水,也可沖氮氣冷卻真空爐。防止真空爐因停電而超溫損壞密封圈。真空爐的循環水系統嚴禁斷水!冷卻水的壓力必須按照額定壓力設備冷卻水進口處壓力：0.15～0.3MPa、流量約30m3/h。進水溫度≤32℃、推薦用戶主水泵配揚程約50m, 流量約30m3/h。需要水池及冷卻塔。壓縮空氣源：0.4～0.8MPa、流量：1m3/h 。真空爐因為安裝了水溫、水壓和流量繼電器，當出現不正常情況時應能斷電，并及時報警。
(9)、真空爐的真空抽氣系統中配備與電源聯鎖的自動閥門，在發生停電事故時能夠關斷抽氣管路，防止空氣和真空泵油進入爐內。