高純石墨熱場配件在什么標準下必須拆除和更換，在什么標準下必須清洗？

  熱場是真空泵高溫爐的關鍵部分，其優劣直接危及爐子的特性和運行成本。熱場的設計方案多種多樣，選擇哪種方案的關鍵在于對生產過程的深入分析。大多數真空泵高溫爐的熱場由四個關鍵部件組成:電加熱器及連接部件、隔熱部件(或反射屏)、熱場支撐點、鋼制支承爐膛。這類配件因為材質或使用時間的問題，一般都要按時拆卸更換。高純石墨熱場的配件應該在什么標準下進行拆卸更換和清洗？

1.嚴格升溫、熔化、重熔、停爐等。根據安全操作規程，維護高純石墨部件。每次拆爐后，高純石墨*配件必須仔細清洗，籽晶和每個高純石墨熱場配件的情況都要認真仔細記錄。

2.檢查高純石墨*配件有無裂紋，特別是石墨坩堝、高純石墨托盤和石墨坩堝桿。如有裂紋，先向生產車間負責人匯報，再進行拆除更換。用硅區分區域或向生產車間負責人匯報。在預計使用壽命前的5爐使用前，組長應進行檢查和驗證。在預計使用壽命前使用5爐后，生產車間負責人應進行檢查和驗證。

3.高純度石墨*配件使用壽命到期后，高純度石墨*配件(高純度石墨托盤、鉗壺桿、石墨坩堝)等會導致貸款逾期巨額損失的部件將被拆除，更換為新產品。已拆下的高純石墨*配件將保留，多晶硅生產車間、技術部、生產部共同檢查后解決。其他配件如電熱器、保溫管、排水管等都要仔細檢查，看有沒有小裂縫、小缺點。悶爐高純石墨熱場部分應做詳細記錄。

4.針對高純石墨熱場*配件的安全事故做好詳細記錄。高純石墨*不太好的部分要做詳細的記錄，要歸到具體的地址，防止混淆。  

5.鑒于使用壽命已到更換期限，正常情況下必須更換(或者讓有經驗的人鑒定，決定是否重復使用)。對使用年限前未拆除和更換、暫時不需要的，應密封在包裝袋內，裝入紙箱，標明爐號、爐號、拆除和更換原因、來源和時間，并妥善保管。

6.如果一個零件損壞(如三個閥壞了，一個閥壞了)但還沒到使用壽命極限，可以一起使用或更換(對于只有幾爐的新三閥坩堝，由生產車間負責人決定是否套用，如果能用且能湊成一套，則保存存放)。當密封存儲被重復使用時，建議將其應用于凈化爐。

7.每次停爐時，清除熱場金屬氧化物，并將高純石墨片滲硅干凈，引流管、保溫罩應仔細擦洗干凈，防止原料污染發生安全事故。在取放高純石墨零件時，不僅要注意生命安全，還要注意高純石墨零件的安全。