石墨熱場行業標準
1.石墨制品半導體應用市場概述
直拉單晶爐用石墨零件是一種易耗件,由各種高純石墨加工而成。如石墨坩堝等石墨部件使用高純度細顆粒石墨;石墨加熱器采用高純各向同性石墨;石墨絕緣罩和石墨蓋板由高純度、中等顆粒結構的石墨制成。
多晶硅熱場加熱器
前面提到的半導體和光伏行業使用的兩種石墨制品在幾年前主要是從國外進口(或由mainland China外資企業提供)。但由于中國石墨行業、半導體材料行業和電子工業設備行業的共同努力,中國生產的這兩類石墨配件在制造技術和應用技術方面都有了很大的進步,市場格局也發生了很大的變化。這也為中國石墨行業在這方面開拓新的市場提供了新的機遇。但同時也需要看到,在我國大型高純各向同性石墨市場快速增長的同時,我們的制造技術還存在一些不適應的方面,我們的技術與國外先進國家還有較大差距。石墨制品作為微電子和光伏產業重要的基礎裝備材料,需要我國持續的技術進步。當務之急是加強與半導體產業和硅材料制造業對光伏電池的合作,進一步投資發展其配套的高檔石墨制品。
1.1應用市場的發展和擴張過程
半導體的發展離不開石墨材料在半導體工業中的應用。在半導體工業中,高純石墨材料廣泛應用于直拉單晶爐的加熱系統中。也用作半導體硅片加工(包括區熔、外延、形狀加工等)中的輔助工具和部件。);是半導體硅片多晶硅材料生產中的輔助工具和部件。電子工程的石墨制品首先應用于半導體行業。進入21世紀,光伏產業發展迅速,太陽能電池用多晶硅錠材料的產量和市場都有了突飛猛進的增長,這也為光伏產業中的石墨制品提供了具有廣闊發展前景的新市場。多晶硅錠是太陽能電池硅片的重要原料,已廣泛應用于其生產設備鑄錠爐中。
1.2石墨制品太陽能電池應用市場概述
在生產多晶硅錠設備上,許多部件需要石墨材料。特別是鑄錠爐加熱器所用的加熱材料——高純石墨,以及所用的隔熱材料——高純碳氈隔熱材料,都是目前鑄錠多晶硅設備重要且必不可少的配套材料。
由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上),要求其加熱材料不與硅材料發生反應,不對硅材料造成污染,因此可長期在真空和惰性氣氛中使用。合適的加熱器是鎢、鉬和非金屬石墨。鎢和鉬價格昂貴且難以加工,而石墨來源廣泛,可以加工成各種形狀。此外,石墨具有熱慣性小、升溫快、耐高溫、抗熱震性好、輻射面積大、加熱效率高、基本性能穩定等特點。正因為如此,石墨材料已經成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料。鑄錠爐的加熱器對隔熱材料有嚴格的要求。必須是耐高溫、密度低、導熱系數低、儲熱少、保溫效果好、氣體釋放少、重量輕、膨脹系數小的材料。因此,在眾多耐火保溫材料中,高純碳氈是最理想的。

