隨著社會經濟的發展，許多單晶硅制造商都精于石墨熱場的應用，原因有二:

  該領域的組成部分，如加熱器，三瓣坩堝，石墨支架和熱屏蔽，是由石墨。在生產過程中，經常會遇到加熱設備損壞的現象。那么石墨設備損壞的原因有哪些呢？應該選擇什么方法來延長石墨設備的壽命？石墨設備的損壞主要是人為和變質造成的。只要加強管理，強化員工的防范意識，就可以把損失降到低點。這里主要討論的是退化。我們先來了解一下石墨的相關特性，

1.耐高溫。石墨熔點高，真空下3850度，低壓下2200度。與一般材料不同的是，當溫度升高時，石墨不僅沒有軟化，反而強度增加，2500度時抗拉強度翻倍

2.特殊抗熱震性。石墨的熱膨脹是各向異性的，所以微膨脹系數不大。在溫度突變的情況下，石墨的體積變化不大。再加上其優異的導熱功能，石墨的抗熱震性非常優異。如上所述，石墨部件應該能夠在高溫下長時間穩定工作。

   一般情況下，花瓣坩堝與保溫罩、加熱器等其他石墨設備相比，材質相同，生產廠家相同，工作環境相同。為什么使用壽命比保溫罩和取暖器短很多？三瓣坩堝開裂的主要原因來自應時坩堝。1.由于熔融硅的密度高于固體硅的密度，在冷卻過程中，坩堝的底部材料會使應時坩堝破裂，而應時坩堝則附著在三瓣坩堝上。當應時坩堝劈裂產生的應力大于三瓣坩堝受到的應力時，三瓣坩堝就會開裂，這也是坩堝多余的底部材料會使三瓣坩堝破裂的原因。2.如果加熱時間過長，應時坩堝質量不夠，原料pH值不符合要求，都會導致漏硅、滲硅。熔融硅進入三瓣坩堝之間的縫隙冷卻下來后，會損壞三瓣坩堝，二是使三瓣坩堝相互粘連，在清爐時可能分別導致開裂。3.在加熱過程中，只有三瓣坩堝的熱源來自兩個方面，一是加熱器的輻射，二是來自應時坩堝的傳導，導致三瓣坩堝受熱不均勻，受熱時在某些方向膨脹，在另一些方向收縮，進而導致三瓣坩堝開裂。

正面和石墨氈保溫效果好，厚度達到100mm，有效保證了徑向梯度溫度可能較小的情況。

二、熱量長的原因是石墨坩堝厚度達到250mm，可以扎樣品，所以上中下保溫筒的口徑會足夠大，有足夠的縱向散熱功能。眾所周知，石墨坩堝操作方法存在的問題會導致石墨坩堝操作時間的減少，進而增加生產廠家自身的資本。有了制造石墨坩堝和熱場工件的歷史，再來說說石墨熱場生產中常見的問題，以及我們應該如何處理。