單晶爐石墨熱場的結(jié)構(gòu)是怎么樣的?
在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)中,單晶的質(zhì)量直接關(guān)系到單晶的質(zhì)量,合格的熱場才能生長出高質(zhì)量的單晶。因此,在直拉單晶工藝中有非常重要的因素來創(chuàng)造良好的熱場條件。石墨是單晶生長的載體。石墨主要由高純石墨和等靜壓石墨工件在直拉單晶生長爐中制成。
根據(jù)實(shí)際情況,熱場的大小按應(yīng)時(shí)坩堝的直徑來劃分。目前我國熱場從φ 12”到φ 28”,一般以φ 18”到φ 22”居多。
1.石墨坩堝、石墨支撐桿和石墨托盤
坩堝支撐桿、坩堝和托盤共同構(gòu)成石墨坩堝的支撐體,要求與下軸結(jié)合牢固。當(dāng)下軸在良好的中性狀態(tài)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),支撐桿與托盤的間隙小于或等于0.5毫米的石墨支撐體的高度可以調(diào)節(jié)。
2.隔熱罩
保溫罩分為上、中、下保溫罩。保溫罩由保溫筒外包裹石墨碳?xì)謽?gòu)成,石墨碳?xì)职膶訑?shù)視情況而定。下保溫罩形成底部保溫系統(tǒng),作用是加強(qiáng)鍋底保溫,提高鍋底溫度,減少熱量損失。
3.隔熱罩和尾水管
隔熱罩由上隔熱罩、隔熱碳?xì)趾拖赂魺嵴纸M成,即兩層環(huán)形石墨中間夾一層石墨碳?xì)帧?dǎo)流管主要用于控制熱場的溫度梯度,引導(dǎo)以后的氬氣流動(dòng)。
4.按下這個(gè)環(huán)。
石墨壓環(huán)是由若干圓弧組成的圓環(huán)形石墨片,放置在蓋板與爐壁的接觸處,防止熱量和氣體通過壁爐與蓋板之間的縫隙。
我們這里說的單晶爐的熱系統(tǒng)就是所謂的熱場。熱場一般包括壓環(huán)、隔熱罩、上、中、下隔熱罩、(三瓣)石墨坩堝、坩堝支撐桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流管和石墨螺栓。為了防止以后漏硅,爐底、金屬電極和支撐桿都配有保護(hù)板和保護(hù)套。
5.加熱器
加熱器是熱力領(lǐng)域的重要組成部分,是直接加熱器。溫度高的時(shí)候能達(dá)到1600多度。常見的加熱器有圓柱形、杯形和螺旋形三種形狀。通常,加熱器由高純度石墨制成。
6.石墨電極
石墨的作用是穩(wěn)定地固定加熱器,并通過其他加熱器傳輸電流。所以電極要厚,耐用,光滑平整,保證良好的接觸面。通電時(shí),石墨電極也由高純度石墨制成。


