石墨制品在半導體行業發展的怎么樣?
1.石墨制品太陽能電池應用市場概述
在生產多晶硅錠的設備中,許多部件是石墨材料。特別是高純石墨、鑄錠爐加熱器所用的加熱材料以及所用的高純碳氈絕緣材料,是目前多晶硅鑄錠設備不可缺少的重要支撐材料。
2.石墨制品半導體應用市場概述
直拉單晶爐用石墨零件是一種易耗件,由各種高純石墨制成。如石墨坩堝等石墨部件采用高純細晶石墨;石墨加熱器采用高純各向同性石墨;隔熱罩和石墨罩采用高純度中顆粒結構的石墨。
由于鑄錠爐加熱器的加熱溫度很高(1600℃以上),要求其加熱材料不能與硅材料發生反應和污染硅材料,因此可以在真空和惰性氣氛下長期使用。滿足使用條件的加熱器有鎢、鉬、非金屬石墨等。鎢和鉬價格昂貴,加工困難,而石墨來源廣泛,可以加工成各種形狀。此外,石墨具有熱慣性小、升溫快、耐高溫、抗熱震性好、輻射面積大、加熱效率高、基本性能穩定等特點。正因為如此,石墨已經成為鑄錠爐加熱器的首選加熱材料。鑄錠爐加熱器對隔熱材料有嚴格的要求。必須是耐高溫、低密度、低導熱、低蓄熱、隔熱效果好、低氣體釋放、重量輕、低膨脹系數的材料。因此,在眾多耐火隔熱材料中,高純碳氈是最理想的。
3.應用市場發展和擴大的過程
半導體的發展離不開石墨材料在半導體工業中的應用。在半導體工業中,高純石墨材料廣泛應用于直拉單晶爐的加熱系統中。也用作半導體硅片加工(包括區熔、外延、輪廓加工等)中的輔助工具和部件。);是半導體硅片多晶硅材料生產中的輔助工具和部件。電子工程用石墨制品,首先是實現其在半導體行業的應用。進入21世紀,光伏產業發展迅速,太陽能電池用多晶硅錠材料的產量和市場都有了突飛猛進的增長,這也為石墨制品在光伏產業領域提供了具有廣闊發展前景的新市場。太陽能電池硅片的重要原料多晶硅錠開始在其生產設備鑄錠爐中大量使用高純優質石墨材料。

