影響半導(dǎo)體封裝石墨模具壽命的主要因素
灰鑄鐵因?yàn)榫哂袃?yōu)良的鑄造性能和良好的加工性,熱而不粘且成本低廉,在目前以及可預(yù)見(jiàn)的未來(lái)仍是國(guó)內(nèi)外玻璃模具廠商使用的主要材料。內(nèi)腔為D型半導(dǎo)體封裝石墨模具、外緣為A型片狀半導(dǎo)體封裝石墨模具的梯度半導(dǎo)體封裝石墨模具結(jié)構(gòu)鑄鐵,能滿足內(nèi)腔較高的強(qiáng)度要求和模具主體較好的導(dǎo)熱性而被廣泛使用。已有的研究表明,合金化可以改變鑄鐵半導(dǎo)體封裝石墨模具形態(tài)和基體組織,提高灰鑄鐵材料的耐熱性,從而提高玻璃模具使用壽命。在獲得梯度半導(dǎo)體封裝石墨模具結(jié)構(gòu)鑄鐵后,繼續(xù)合金化改善材料性能有2種效果:
一是通過(guò)促進(jìn)碳化物和珠光體形成,提高基體強(qiáng)度,然而,強(qiáng)度提高的同時(shí)會(huì)使塑性下降;
二是通過(guò)細(xì)化晶粒同時(shí)提高強(qiáng)度與塑性。熱疲勞裂紋擴(kuò)展導(dǎo)致的宏觀龜裂現(xiàn)象為玻璃模具主要失效形式之一,玻璃模具使用壽命為幾十萬(wàn)到100多萬(wàn)次,屬于低周疲勞和高周疲勞的臨界范圍。對(duì)于決定玻璃模具材料耐熱疲勞性的因素究竟是強(qiáng)度還是塑性,尚待進(jìn)一步的研究。本文通過(guò)選取不同廠家生產(chǎn)的具有近似梯度半導(dǎo)體封裝石墨模具結(jié)構(gòu)的模具材料,分析了其組織與性能,探討了影響玻璃模具壽命的主要因素。
1試驗(yàn)材料與方法本文對(duì)市場(chǎng)上廣泛使用的梯度半導(dǎo)體封裝石墨模具鑄鐵玻璃模具材料進(jìn)行了研究,此類模具多用于生產(chǎn)瓶罐類玻璃制品。研究的3種模具分別來(lái)自2家國(guó)內(nèi)玻璃模具廠(甲、乙)和1家國(guó)外廠家(丙)。其中甲廠模具使用壽命約為 65 萬(wàn)次,乙廠 60 萬(wàn)次,丙 廠 125 萬(wàn)次,國(guó)內(nèi)外模具壽命存在顯著差異。通過(guò)對(duì)其組織和性能的對(duì)比研究,旨在發(fā)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)模具與進(jìn)口模具存在差距的原因,為提高國(guó)產(chǎn)玻璃模具材料壽命提供依據(jù)和指導(dǎo)。
對(duì)不同廠家生產(chǎn)的灰鑄鐵玻璃模具材料不同部位進(jìn)行取樣。根據(jù)國(guó)標(biāo)GB/T 7314—2005,采 用CSS-44200電子萬(wàn)能材料試驗(yàn)機(jī)通過(guò)壓縮試驗(yàn)確定材料的抗壓強(qiáng)度。顯微組織采用 OLYMPUS PME光學(xué)顯微鏡和 FEI Quanta 250F場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡觀察。顯微硬度測(cè)試采用 402MVD 自動(dòng)轉(zhuǎn)塔數(shù)顯顯微維氏硬度計(jì),測(cè)試載荷為0.05kg,加載時(shí)間為10s。 為進(jìn)一步分析模具的熱疲勞性能差異,還進(jìn)行了模擬玻璃模具使用工況的熱疲勞試驗(yàn)。試樣尺寸為5mm×10mm×15mm,一端設(shè)有缺口(缺口開(kāi)在 D 型半導(dǎo)體封裝石墨模具區(qū)),如圖1所示。在800 ℃下,對(duì)試樣保溫5min后放入水中激冷5s,反復(fù)循環(huán),記錄試樣表面出現(xiàn)宏觀裂紋時(shí)的熱疲勞次數(shù)。
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