燒結(jié)石墨模是半導(dǎo)體工業(yè)上不可缺少的材料
2022年04月14日
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燒結(jié)石墨模具
目前西方發(fā)達(dá)國家金剛石工具制造中使用的石墨模具材料主要是超細(xì)晶粒結(jié)構(gòu)、高純度、高石墨化度的石墨材料,要求平均粒徑小于15μm,甚至小于10μm,中等孔徑小于2 μ m,用這種碳材料制成的石墨模具孔隙率小,結(jié)構(gòu)致密,表面光潔度高,抗氧化能力強(qiáng),平均使用壽命可達(dá)30-40次。金剛石模具要求硬度高,抗氧化性好,加工精度高。采用優(yōu)質(zhì)石墨原料,大大延長了模具的使用壽命,提高了抗氧化性。
用于熱壓金剛石工具的石墨模具在金剛石工具的制造過程中起到加熱元件和模具支撐的雙重作用。石墨模具的質(zhì)量直接影響金剛石工具的尺寸精度、外觀和形狀。熱壓工藝要求:溫度達(dá)到(1000±2)℃,成型壓力16 ~ 50m pa,保溫時(shí)間15 ~ 30min,環(huán)境非真空。在這種工作條件下,要求成型加熱元件的石墨模具具有導(dǎo)電性、高電阻率、足夠的機(jī)械強(qiáng)度、良好的抗氧化性和較長的使用壽命,以保證金剛石工具的尺寸精度和優(yōu)異的性能。
燒結(jié)模具和其他金剛石燒結(jié)模具:利用人造石墨材料熱變形小的特點(diǎn),可以制造晶體管的燒結(jié)模具和支架,現(xiàn)在已經(jīng)廣泛使用,成為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展不可缺少的材料。此外,石墨模具還用于鑄鐵模具、各種有色金屬的耐用模具、鑄鋼的模具、耐熱金屬(鈦、鋯、鉬等)的模具。)和用于焊接鐵軌的鋁熱劑焊接模具等。
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