石墨治具的使用要求
2024年03月18日
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石墨治具
石墨治具的運用要求
石墨治具是用于在半導體制造過程中承載、固定和保護芯片的石墨制件。在運用過程中,需求滿意以下要求:
1.石墨治具應具有超卓的導熱功能,以確保芯片在作業過程中散熱超卓。
2.石墨治具的外表應潤滑、平整,無劃痕或凸起,避免對芯片構成危害。
3.石墨治具的規劃應契合所承載的芯片尺寸和形狀,以確保其穩定性和承載才能。
4.運用前應對石墨治具進行預熱處理,以削減熱沖擊對其的影響。
5.運用后應對石墨治具進行清潔和保護,以堅持超卓的作業狀況和延伸其運用壽數。
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