石墨舟裝片房和石墨舟裝載房有什么主要特點
2024年03月12日
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石墨舟
石墨舟裝片房:用于太陽能工作與PECVD承載車配套、裝取硅片、制作中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達凈化要求。
石墨舟作業原理:
空氣經過高效過濾后,阻尼層均壓,使潔凈的空氣氣流垂直單向送入裝片作業區,然后確保了作業區內抵達工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環境中往石墨舟上裝硅片。
石墨舟主要特點:
1、能精確的使石墨舟承載裝片車定位;
2、選用不銹鋼制作,整機結構安定可靠;
3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉180度;
5、凈化風機噪音小于50dB。
6、確保了作業區內抵達工藝要求的潔凈度100級。
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