半導體工業燒結用石墨模具材料的選擇
2024年03月12日
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石墨模具
半導體工業燒結用石墨模具資料的選擇
燒結用石墨模具由于高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下規范穩定、耐熱沖擊功能好等特征,所以在半導體工業中廣泛選用高純石墨制造各種燒結模具。
(1)電子器材燒結用石墨模具。石墨燒結模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結,圖為部分燒結模具實例。選用高頻爐區熔法拉制單晶時,還選用石墨舟(見圖2-4)。
(2)各種絕緣子燒結模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結,電容器絕緣子燒結,厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結,超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結模具等。
半導體工業用石墨模具資料的選擇
半導體工業對所用石墨資料要求其純度越高越好,特別是直接與半導體資料接觸的石墨器材
如坩塌、燒結用石墨模具等,雜質含量多會污染半導體資料,因而不光對所用石墨原資料的純度要嚴加控制,而且還要經高溫石墨化處理,使其灰分降到最低程度。
半導體工業要求所用石墨資料顆粒度要細,顆粒度細的石墨不光簡略到達加工精度而且高溫強度高、損耗小,特別是燒結用石墨模具要求加工精度很高。由于半導體工業所用的石墨器材(包括加熱器和燒結模)都需求承受重復加熱和冷卻進程,為了前進石墨器材的運用壽命,要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的規范穩定性和耐熱沖擊功能。為了滿意上述各項要求,目前我國生產了一系列適用于半導體工業所運用的石墨資料。
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