石墨舟皿去垢前的查看工作：
    石墨舟在使用過程中挨近100次時需求操作人員及時查看鍍膜狀況，出現(xiàn)鍍膜反常，需求進(jìn)行清洗確認(rèn)。
    硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜色彩為藍(lán)色，片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種色彩或片與片間色彩差異較大，都為鍍膜反常，需求工藝確認(rèn)反常原因。
    由工藝人員對舟的鍍膜狀況進(jìn)行剖析后，確認(rèn)石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求更換，出產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。
    石墨舟確認(rèn)需求清洗后，由設(shè)備、出產(chǎn)、工藝三方對石墨舟進(jìn)行查看。