石墨電子燒結模具用于各種類型
2021年09月16日
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電子燒結模具
燒結用石墨電子燒結模具因為高純石墨具有耐高溫、純度高、高溫下尺度穩定、耐熱沖擊功能好等特色,所以在半導體工業中廣泛選用高純石墨制作各種燒結電子燒結模具。
(1)電子器材燒結用石墨電子燒結模具。石墨燒結模適用于各種類型的二極管、三極管、可控硅管等器材的管心燒結,圖為部分燒結電子燒結模具實例。選用高頻爐區熔法拉制單晶時,還選用石墨舟。
(2)各種絕緣子燒結電子燒結模具。石墨模適用于各種類型的三極管、硅整流管、可控硅管座的燒結,電容器絕緣子燒結,厚膜及薄膜集成電路絕緣子燒結,超小型繼電器、接插件等元件絕緣子燒結電子燒結模具等,圖2-5為部分可控硅管和各種絕緣子燒結電子燒結模具。

半導體工業要求所用石墨資料顆粒度要細,顆粒度細的石墨不光容易達到加工精度并且高溫強度高、損耗小,特別是燒結用石墨電子燒結模具要求加工精度很高。因為半導體工業所用的石墨器材(包含加熱器和燒結模)都需要承受反復加熱和冷卻過程,為了提高石墨器材的運用壽命,要求所用石墨資料在高溫下具有杰出的尺度穩定性和耐熱沖擊功能。為了滿足上述各項要求,目前我國出產了一系列適用于半導體工業所運用的石墨資料,其部分商標和功能列于表
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