石墨舟如何維護(hù)?
石墨舟便是石墨模具。石墨模具自身是一種載體,能夠把我們需求定位或定型的原材料和零部件一同放于石墨模具中高溫?zé)Y(jié)成型。時(shí)刻久了,石墨舟也需求清洗和維護(hù)。下面東莞捷誠(chéng)小編就為大家共享一下石墨舟的相關(guān)常識(shí)。
1.清洗前供認(rèn)
石墨舟在運(yùn)用過程中挨近100次時(shí)需求操作人員及時(shí)檢查鍍膜狀況,出現(xiàn)鍍膜失常,需求進(jìn)行清洗供認(rèn)。硅片在石墨舟內(nèi)正常鍍膜顏色為藍(lán)色,片內(nèi)出現(xiàn)非藍(lán)色、多種顏色或片與片間顏色差異較大,都為鍍膜失常,需求工藝供認(rèn)失常原因。由工藝人員對(duì)舟的鍍膜狀況進(jìn)行分析后,承認(rèn)石墨舟是否需求清洗以及卡點(diǎn)是否需求替換,出產(chǎn)將需清洗的舟交由設(shè)備人員清洗。石墨舟承認(rèn)需求清洗后,由設(shè)備、出產(chǎn)、工藝三方對(duì)石墨舟進(jìn)行檢查,2.1.5石墨舟損壞后,由出產(chǎn)人員取出舟內(nèi)全部的硅片,并運(yùn)用CDA(壓縮空氣)對(duì)石墨舟內(nèi)碎片進(jìn)行整理,完畢后設(shè)備人員將其抬入現(xiàn)已配好必定份額HF溶液的酸槽中進(jìn)行清洗。
2.石墨舟的清洗
翻開酸槽排水閥,待廢酸排盡,用水槍對(duì)酸槽進(jìn)行沖刷。關(guān)上閥門,將石墨舟放進(jìn)酸槽中,翻開進(jìn)水閥門,往酸槽里放入純水直到水能夠吞沒石墨舟中止,關(guān)閉水閥。然后在酸槽參與HF酸(4瓶),把清洗機(jī)的窗戶關(guān)好,然后開始清洗(要在酸中浸泡6個(gè)小時(shí)左右)。清洗過程中戴好防酸堿手套,將石墨舟從酸槽中取出檢查是否清洗潔凈,假設(shè)到時(shí)刻還未洗潔凈,再繼續(xù)清洗,直到潔凈中止。清洗潔凈之后,放入水槽,用水槍沖刷后關(guān)上排水閥,放水,以水沒過舟為準(zhǔn),漂洗一般需2個(gè)小時(shí)。清洗完畢后,將石墨舟從水槽中取出,用氣槍吹掉外表顯著的水珠。將石墨舟抬入專用烘箱,關(guān)上烘箱門鎖緊;翻開電源開關(guān)—風(fēng)機(jī)開關(guān)—升溫開關(guān)—報(bào)警開關(guān);溫控表設(shè)定溫度80度。石墨舟在烘箱烘干6—8小時(shí)(通過測(cè)試石墨舟在烘箱烘干后與運(yùn)用前的石墨舟無差別方可取出)。設(shè)定溫度20度,一般降溫半個(gè)小時(shí)烘箱里的石墨舟達(dá)到常溫,能夠取出。將石墨舟上的全部螺母扭緊并檢查石墨舟全部的陶瓷件,需求替換工藝點(diǎn)的石墨舟,取出后需求入修補(bǔ)間專用貨架等候修補(bǔ)。
3.石墨舟損壞處理方案
石墨舟舟片損壞:
A.石墨舟在頻頻重復(fù)運(yùn)用清洗之后,不可避免出現(xiàn)老化龜裂,在按標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)時(shí)發(fā)現(xiàn)舟片龜裂,應(yīng)中止運(yùn)用,由工藝設(shè)備承認(rèn)后,入設(shè)備房修補(bǔ)替換,至修補(bǔ)好后能夠繼續(xù)運(yùn)用。
B.石墨舟在運(yùn)用中出現(xiàn)操作人員誤操作或機(jī)械臂開裂等原因構(gòu)成的舟片損壞,需按要求填寫《事端陳述》,由工藝設(shè)備承認(rèn)后,入設(shè)備房修補(bǔ)替換,修補(bǔ)好后能夠繼續(xù)運(yùn)用。
石墨舟陶瓷件損壞:
A.石墨舟陶瓷件通過重復(fù)清洗、高溫工藝,時(shí)刻長(zhǎng)后會(huì)出現(xiàn)開裂、開裂。在出產(chǎn)運(yùn)用中出現(xiàn)開裂,當(dāng)班設(shè)備需求及時(shí)替換,然后不影響出產(chǎn)。
B.在清洗后陶瓷件出現(xiàn)開裂,等候清洗完畢烘干,取出后對(duì)陶瓷件進(jìn)行替換。

