石墨盤用途有哪些?
在外延生長范疇,高純石墨盤是必不可少的。它在外延生長中起到加熱和裝載半導體晶圓的作用?,F在,干流外延設備廠商配套的石墨盤在結構上根本相同,均選用在石墨盤基座上設計一個晶圓形狀的淺凹槽的方式來裝載晶圓。這種設計在生長小標準的晶圓(比如說4寸半導體晶圓)來說是合理的,保護起來也很方便。但對于生長大標準的外延片,依據下降晶圓被旋轉的石墨盤甩出的風險,晶圓槽底部相對于石墨盤頂部的高度比小標準石墨盤大一些。
這種設計導致了生長大標準外延片特別是厚膜外延片出現了以下幾個問題:
1.因為石墨盤與晶圓接觸區域較多,在生長厚膜外延片時,沉積的外延層會添加石墨盤與半導體晶圓的粘接,使得生長完成后將外延片從石墨盤中無損傷取出較為困難,乃至或許導致裂片。
2.因晶圓邊沿處較高的臺階使得該區域存在氣體湍流,簡單滯留較多的生長氣體,從而使得外延片厚度和載流子濃度均勻性較差。
3.因外延爐一般選用射頻感應加熱,熱量傳遞的方向是沿著石墨盤徑向從邊沿到中心,使得石墨盤邊沿的溫度高于中心區域的溫度,這在大標準外延生長中尤為突出。
石墨盤根的主要用途
石棉盤根用于弱酸堿、液氨、水、油品介質、閥門、作靜密封防腐密封作用最佳。 纖維盤根一種導熱性能好、耐酸堿、適用于各類溶劑、汽油、水、液氮介質的泵、閥門、反應釜密封(另一種導熱性能好、耐酸堿、耐高溫、適用于高速運轉條件下的動、靜密封)。 聚四氟乙烯盤根是以純聚四氟乙烯分散樹脂為質料,先制成生料薄膜,再通過捻線,編織成盤根。這種聚四氟乙烯無其他添加物,可廣泛用于食品、制藥、造紙化纖等有較高清潔度要求,和有強腐蝕性介質的閥門、不適宜在水泵上運用。
芳綸盤根具有極好的高轉速、高模數的性質(被稱為人工金屬線)它的強度是金屬絲的三倍,重量比金屬絲輕五倍。所以,與其它類型的盤根比較,它能反抗顆粒結晶介質和更高的溫度既可獨自運用也可與其它盤根組合,適合于含固體顆粒的易磨損介質,引薦運用于過熱蒸汽、溶劑、液化汽、糖漿及其它易磨流體。在泵系統上是很好的石棉替代產品。
高水基盤淵源高質量苧麻纖維, 內、外涂石墨,且充分滋潤特別的潤滑油方形編織而成。突出的長處是磨擦系數極低,不磨軸,防腐蝕??蓱糜诖肮ぷ?、冷水處理、海水及冷油上;低壓閥門,旋轉設備,及往復泵液壓榨機,輪船螺旋槳等設備。引薦運用在一般的動密封,低壓閥門,旋轉設備,及往復泵上。溫度≦140 ℃ PH 值:2-12 線速度:10m/s鼓風機15bar 攪拌機:15bar 閥:20bar 適用于各種水質、海水、咸水、油類、脂類、弱酸、弱堿等介質,特別本領研磨。(此盤根按色彩分為黑色和白色)。
石墨盤根是固相碳化反應的持續,碳纖維中以氮為主的非碳元素幾乎全部被溢走,得到含碳量挨近100%的石墨纖維。氮的釋放是小的六角碳網平面進一步縮合反應的效果,固相石墨化縮合反應或許。大約有6%~7%氮在石墨化進程中被脫除,因而殘留下許多孔隙缺點和溢走時路徑的氣孔,致使在石墨化進程中孔隙率Vp抵達峰值。可知,在2200℃左右,氮幾乎全部脫除,使孔隙率出現值 ;2200℃之后,孔隙率Vp急劇下降,密度急劇升,小芳環的縮合脫氮反應是石墨盤根進程中的主反應,給纖維的元素組成、孔隙率和密度帶來明顯變化。

