晶圓封裝石墨模具用于粉末冶金
2021年09月15日
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石墨模具
1. 一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,包括上加壓柱、模具套筒及模具底座,其特征在 于:還設有外鑲嵌片和內鑲嵌片,外鑲嵌片位于模具套筒內,緊貼模具套筒內壁,內鑲嵌片 位于外鑲嵌片內且緊貼外鑲嵌片內壁,內鑲嵌片底端高度大于外鑲嵌片底端高度,模具底 座頂端呈臺階狀,且頂端凸起尺寸與外鑲嵌片內壁尺寸配合伸入到外鑲嵌片內壁中,內鑲 嵌片底端置于頂端凸起上,模具套筒的底端和外鑲嵌片的底端位于模具底座頂端臺階上。
2. 如權利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,其特征在于:所述的外鑲嵌 片和內鑲嵌片都是由兩個半圓片組成。
3. 如權利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,其特征在于:所述的上加壓 柱頂端與模賊座底端具有相同的形狀和尺寸,與熱壓燒結爐內部加壓柱尺寸相匹配。
4. 如權利要求1所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具,其特征在于:所述的上加壓 柱的下部麵為隱、方形、三娜或其傾要的試娜狀;上加雖伸人_嵌片內,與 內鑲嵌片的型腔的形狀、尺寸匹配。
5. 如權利要求1
所述的一種用于粉末冶金的晶圓封裝石墨模具 ,
其特征在于:所述的上加壓 柱的下部 相匹配。
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