直拉單晶爐熱場中石墨坩堝起什么作用?
2023年08月04日
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石墨坩堝
直拉單晶爐熱場用石墨坩堝,該石墨坩堝由多個堝瓣拼裝而成,每個堝瓣在其角落方位內壁設有暗槽,該暗槽內設有角落塊.采用本發(fā)明可以避免石墨坩堝堝瓣接縫處呈現腐蝕開裂形成整個坩堝的報廢,僅僅在石墨坩堝堝瓣接縫處呈現腐蝕變薄后進行角落塊的替換即可解決問題,有效的延長坩堝壽命,減少了坩堝長時間運用可能帶來的風險.
直拉法出產單晶硅是現在制備單晶硅的最首要辦法,熱場系統(tǒng)是硅資料成晶的最重要的條件之一,熱場的溫度梯度分布直接影響著是否能順利地拉出單晶和操控單晶的質量好壞。因而熱場的設計和改善對一個有競爭力的拉晶廠家來說非常重要。熱場的部件首要包括石墨加熱器、石墨坩堝、導流筒、保溫筒、堝托、爐底護盤等等。
在拉制單晶的過程中,石墨坩堝作為關鍵核心部件的首要效果有如下幾點:
(1)高溫承載效果:裝滿多晶硅原料的石英坩堝要置于石墨坩堝里面,石墨坩堝要承載石英坩堝和多晶硅等原料的分量,確保高溫石英坩堝變軟后,原料不會泄漏出來,并且在拉晶過程中要承載原料做旋轉運動,因而,對其力學功能要求比較高;
(2)傳熱效果:坩堝經過本身優(yōu)良的導熱功能,傳導多晶硅原料消融所需的熱量,消融溫度在1600℃左右,因而,坩堝必須要有良好的高溫導熱功能;
(3)安全效果:在緊急情況停爐時,因為多晶硅冷卻時體積脹大(大約為10%),坩堝短時間內會承受很大的應力,因石墨資料本身的強度較低,石墨坩堝在這種情況下一般都會炸裂而報廢,甚至損壞相鄰部件甚至整個熱場,因而石墨坩堝強度較低是單晶出產安穩(wěn)的危險,急需更新?lián)Q代,運用契合拉晶需求的抗折強度大的產品。
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