如何延長石墨熱場器件壽命?
2023年11月17日
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石墨熱場
石墨熱場是一個熱體系。在機械中,一般是指單晶爐的熱場,即單晶爐內的熱體系。
1.單晶爐是一種惰性氣體(氮氣、氦氣)環境,用石墨加熱器將多晶材料如多晶熔化,選用拉法生長無位錯單晶的設備。
2.石墨熱場便是一套用于拉單晶硅的石墨加熱體系。最常見的是18英寸的石墨熱場。
3.眾所周知,熱場部件如加熱器、三葉鍋、石墨盤、熱屏等都是由石墨加工而成的。
4.在生產過程中,加熱器部件經常損壞。
5.要延伸石墨熱場設備的壽數,應采納哪些措施?
6.石墨器材的損壞,主要有人為和蛻變兩個原因。
7.人事方面只要加強管理,加強員工預防意識,就能將丟失降到最 低。
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