石墨熱場的設計制造及特性應用是什么?
2023年11月16日
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石墨熱場
直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,石墨熱場系統的作用是指為了熔化硅料,并使單晶成長保持在必定溫度下進行的整個系統。
石墨熱場一般包括(石墨材料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了避免漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
單晶爐石墨熱場簡略的說就是用來拉單晶硅的整套石墨加熱系統。常見的是18寸、22寸和24寸的石墨熱場。一種盛行的石墨熱場行業標準規劃規劃計劃是選用石墨材料制作熱場隔熱部件。標準的石墨保溫材料由板狀或許多層毯狀石墨化碳纖維材料組成,在接近熱場中心的內外表往往需求加覆一層石墨紙或碳碳復合材料薄板用來提高熱反射率和避免高壓氣流的沖刷。
因為等靜壓石墨熱場材料自身所具有的多孔性和可滲透性,各層隔熱材料之間不需求預留額定的空間。石墨材料具有優良的隔熱功能,本錢一般較金屬屏低,而且十分易于使用。就制作本錢,耐用性和可維護性而言,石墨隔熱軟氈較石墨隔熱硬氈具有必定的優勢。經過生產實踐,金屬隔熱屏往往不適于環境惡劣的真空釬焊工藝。
石墨熱場廠家用石墨材料制作石墨熱場的隔熱部件,實踐證明,盡管在釬焊工藝中會有許多焊料沉積在石墨隔熱材料的外表,可是卻不會產生熔解的焊料與石墨隔熱材料的熔合現象。盡管有人會質疑,以為石墨材料比金屬材料更容易吸收水分,水分對釬焊工藝過程危害很大,可是,實踐證明熱場循環往復的升溫與降溫會很好地排除石墨隔熱材料中的水分。
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