石墨熱場之石墨器件損壞的原因是什么?
2023年10月30日
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石墨器件
首先我們來了解石墨的有關特性,1.耐高溫性,石墨的熔點極高,在真空為3850度,在低壓下升華,升華溫度為2200度,與一般材料不同,當溫度升高時石墨不但不軟化,強度反而增高,在2500度時,石墨的抗拉強度反而增加一倍。2.特別的抗熱震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因此微觀膨脹系數不大,在溫度突變的情況下,石墨的體積改變也不大,再加上其良好的導熱功能,因此石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述,石墨件應該可以長期的在高溫下穩定工作
現在單晶硅廠家使用的石墨熱場都是比較成功的,一是因為石墨氈保溫,總厚度達到100MM以上,確保了徑向溫度梯度盡可能小的條件,二是因為熱場大,使用的坩堝一般都是在250MM以上,這樣保溫罩、保溫蓋的口徑也大了,有充沛的縱向散熱功能,確保了晶體的縱向溫度梯度足夠大的條件,一起加強托碗底部的保溫作用,確保了熔體中的縱向溫度梯度比較大的條件,這種熱場成晶率高,有利單晶從頭到尾進行無位錯生長,不用進行過多的調整,差異在成品率的凹凸和節能的作用不一樣,然而這些指標往往又和設備的優秀成度以及管理水平等綜合要素相關聯,從熱場的結構上講,有的加強了徑向保溫,采有碳碳復合材料來下降能耗等。
眾所周知,熱場的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過程中,常常能碰到加熱器材損壞的現象,那么石墨器材損壞的原因是什么,應該采取什么樣的措施來延伸石墨器材的壽命呢?石墨器材的損壞,主要有人為和劣化兩個方面的原因。人為方面只要加強管理,強化職工防備認識,就可以將損失降到最低點。
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