石墨舟的預(yù)熱及預(yù)處理方法
2019年11月07日
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石墨舟
石墨舟在工業(yè)上的應(yīng)用十分廣泛,很多人不知道該怎么使用石墨舟,特別是在預(yù)熱和預(yù)處理時(shí)該怎么做,所以小編收集了一些知識(shí)要點(diǎn)供大家參考的:
石墨舟的預(yù)熱
1.烘干后的石墨舟由生產(chǎn)、工藝、設(shè)備檢查無(wú)損壞后,一起將石墨舟進(jìn)行預(yù)熱。
2.預(yù)熱時(shí)石墨舟內(nèi)不放硅片,將需要預(yù)熱的舟放入空閑的爐管,此爐管不進(jìn)行工藝,只要手動(dòng)把真空泵的閥門(mén)打開(kāi)就行了。
石墨舟的預(yù)處理(鍍舟)
將空的石墨舟由生產(chǎn)、工藝、設(shè)備確認(rèn)無(wú)異常之后,把石墨舟放進(jìn)爐管開(kāi)始進(jìn)行預(yù)處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的生產(chǎn)工藝都一樣,但到“淀積”那一步時(shí)將工藝保持一個(gè)小時(shí),然后再進(jìn)行下面的步驟,等到工藝結(jié)束,石墨舟從爐管內(nèi)出來(lái)之后,經(jīng)工藝人員確認(rèn)之后,這個(gè)石墨舟就可以正常使用了。
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