1.新石墨舟在第一次運(yùn)用前建議運(yùn)用去離子水+10%（體積比）的氫氟酸進(jìn)行清洗約3~5小時；再用去離子水進(jìn)行漂洗8~12小時；直到承認(rèn)舟體沒有酸性成分，可在漂洗后用PH試紙測驗(yàn)用過的水或洗過的舟，以承認(rèn)清洗成果。然后依照要求進(jìn)行烘干。
      2.運(yùn)用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在運(yùn)用100-150次左右需要對其表面的氮化硅進(jìn)行清洗。建議運(yùn)用濃度15-25%的氫氟酸溶液，分三輪次來清洗，每次4-5小時，并在浸泡清洗的過程中進(jìn)行周期性氮?dú)夤呐荩影胄r左右的清洗；留意：鼓泡不建議直接運(yùn)用空氣作為氣源。酸洗后用純水漂洗10小時左右，并承認(rèn)舟現(xiàn)已徹底清洗干凈，請?jiān)谇逑赐戤吅蟛榭粗鄣谋砻妗⑹c(diǎn)和舟片結(jié)合處、以及其它部位是否還有氮化硅的剩余。然后依照要求進(jìn)行烘干。
清洗留意事項(xiàng)：
    A）由于HF酸歸于強(qiáng)腐蝕性物質(zhì)并有必定的揮發(fā)性，對操作人員有必定的危險性。因此清洗崗位操作人員必須做好安全防護(hù)，并進(jìn)行專人管理。
    B）建議在清洗時將舟拆開后只對石墨部位進(jìn)行清洗，這樣能將各個接觸部位清洗的更徹底。目前國內(nèi)許多廠家選用整體清洗，雖然便利，但由于HF酸對陶瓷部件有必定的腐蝕性，整體清洗會縮短相應(yīng)部件的運(yùn)用壽命。