石墨舟裝載室:用于太陽能職業和PECVD運載車輛支撐，裝載硅片，制備中高效過濾器，確保吹出的空氣滿意凈化要求。 
    石墨舟作業原理: 空氣經過高效過濾后，均勻壓入阻尼層，使潔凈氣流垂直、單向送入負載作業區，然后保證作業區的潔凈度滿意工藝要求。操作人員在清潔的環境中將硅片安裝到石墨舟上。
石墨舟主要特點: 
    1、能準確地使石墨舟軸承板小車定位;
    2、全不銹鋼制造，整機結構牢固牢靠;
    3、采用GK系列高效空氣過濾器3臺;
    4. PECVD運載車輛內部可傾斜15度或旋轉180度;
    5、凈化風機的噪聲小于50dB.
    6、確保作業區域的潔凈度達到工藝要求100級。