石墨舟情況對表層的鍍膜勻稱性的危害是什么?
2023年09月12日
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石墨模具
將新石墨舟及運用超越三年的舊石墨舟飽滿后進行PECVD表面的表層的鍍膜。新石墨舟表層平整度好,石墨舟片導電性一致,塑料膜分子式能夠均勻地堆積在單晶硅片表層,片間均勻性更高品質。
新石墨舟飽滿后在堆積時仍有一部分等離子體在石墨舟上邊堆積,運行次數小于三十次時,隨著著運行次數的進步,石墨舟上邊堆積的等離子體下降,片間均勻性越佳。運行次數超出三十次后,隨著著運用次數的進步,石墨舟片內壁與單晶硅片碰觸邊際處塑料膜變厚,電場反而強勁,形成許多的低溫等離子體堆積,易出現不一樣水準的邊際發白情況,導致片間均勻性數次下降。
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