第一次使用石墨舟的預處理該怎么做?
2022年07月26日
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石墨舟
石墨以其良好的化學和物理性能逐漸成為制造許多產品的材料,我國的石墨舟工業也日趨成熟,成為各個領域不可替代的產品。 石墨舟的預熱和預處理方法有哪些?
一.石墨盒預處理(飽和)
1、工藝完成后,石墨舟經技術人員確認后,方可投入其他生產。
2、推薦的預處理(飽和)正常時間為200-240分鐘。
3、為了更好的延長石墨舟的使用壽命,建議不要在空舟狀態下進行預處理,最好安裝假芯片或廢芯片。
4、再次檢查空石墨箱,確保完好,然后放入爐管開始預處理。 其他工藝與正常生產工藝沒有區別。
5. 需要注意的是,在“沉積”過程中,該過程需要一個小時,然后再進行其他步驟。
二.預熱
1、將需要預熱的舟皿放入閑置的爐管中,然后用手打開真空泵的閥門。 此爐管將不進行處理。
2、溫馨提示:預熱時不要將硅片放入石墨盒中。
3、干燥后的石墨箱通過生產、工藝、設備進行檢查。 如果沒有發現損壞,則將石墨舟一起預熱。
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