石墨舟的主要特點(diǎn):

1.PECVD拖板可以傾斜15度或者內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度；
2.凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
3.確保工作區(qū)域的清潔度達(dá)到工藝要求的100級(jí)。  
4、石墨舟能準(zhǔn)確定位裝載和裝車；
5.采用不銹鋼制造，整機(jī)結(jié)構(gòu)牢固可靠；
6.采用三臺(tái)GK系列高效空氣過(guò)濾器；

石墨舟的工作原理:

空氣經(jīng)高效過(guò)濾后，阻尼層均衡壓力，使?jié)崈魵饬鞔怪眴蜗蛩腿刖A裝載工作區(qū)，保證工作區(qū)的潔凈度滿足工藝要求。操作員在干凈的環(huán)境中將硅晶片裝載到石墨舟上。

石墨舟裝載室:用于太陽(yáng)能行業(yè)，配合PECVD裝載車，裝載硅片，制備中效和高效過(guò)濾器，保證吹出的空氣符合凈化要求。