石墨舟主要用在哪些方面?
2022年07月15日
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石墨舟
石墨舟的主要特點(diǎn):
1.PECVD拖板可以傾斜15度或者內(nèi)部旋轉(zhuǎn)180度;
2.凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
3.確保工作區(qū)域的清潔度達(dá)到工藝要求的100級(jí)。
4、石墨舟能準(zhǔn)確定位裝載和裝車;
5.采用不銹鋼制造,整機(jī)結(jié)構(gòu)牢固可靠;
6.采用三臺(tái)GK系列高效空氣過(guò)濾器;
石墨舟的工作原理:
空氣經(jīng)高效過(guò)濾后,阻尼層均衡壓力,使?jié)崈魵饬鞔怪眴蜗蛩腿刖A裝載工作區(qū),保證工作區(qū)的潔凈度滿足工藝要求。操作員在干凈的環(huán)境中將硅晶片裝載到石墨舟上。
石墨舟裝載室:用于太陽(yáng)能行業(yè),配合PECVD裝載車,裝載硅片,制備中效和高效過(guò)濾器,保證吹出的空氣符合凈化要求。
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