石墨舟皿清洗時的檢查工作有哪些?
2022年06月28日
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石墨舟皿
石墨舟除銹前的檢查工作:
石墨舟使用近100次時,操作人員需要及時檢查涂層情況,出現涂層異常,需要清洗確認。
硅片石墨舟內,正常鍍膜顏色為藍色,晶片內有非藍色、多種顏色或晶片間色差大,均為異常鍍膜,需通過工藝確認異常原因。
在分析了晶舟的涂層情況后,工藝師將確定石墨晶舟是否需要清洗,以及是否需要更換卡點。生產時,要清洗的船艇會交給設備人員進行清洗。
在確定石墨舟需要清洗后,設備、生產和技術將檢查石墨舟。做了以上檢查后,接下來就是縮放的方法:
1.將石墨舟吊入專用烘箱中,關閉烘箱門并鎖好;打開電源開關-風扇開關-加熱開關-報警開關;恒溫器設定溫度為80度。石墨舟在烘箱中干燥6-8小時(經檢測,石墨舟與使用前的石墨舟無異,方可取出)。
2.清洗后放入水槽,用水槍沖洗,關閉排水閥,排水,以水沒過船為準。沖洗通常需要2個小時。
3.清洗后,將石墨舟從水箱中取出,用氣槍吹掉表面明顯的水珠。
4.將溫度設置為20度。一般爐內石墨舟冷卻半小時達到常溫即可取出。
5.擰緊石墨舟上的所有螺母,并檢查石墨舟的所有陶瓷部件。工藝點的石墨舟需要更換。取出后需要進入維修間的專用架子進行維修。以上是石墨舟表面的處理方法。
6.打開酸罐的排水閥。廢酸排出后,用水槍沖洗酸罐。
7.關閉閥門,將石墨舟放入酸罐中,打開進水閥,向酸罐中放入純水,直至水淹沒石墨舟,關閉水閥。然后在酸罐中加入HF酸(4瓶),關閉清洗機的窗口,然后開始清洗(在酸中浸泡6小時左右)。清洗時戴防酸堿手套,將石墨舟從酸浴中取出,看是否清洗干凈,如果沒有及時清洗干凈,繼續清洗,直到清洗干凈。
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