石墨舟清潔工作的準備工作
2022年04月14日
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石墨舟
石墨舟清洗前的準備工作:
(1)在分析了艇的涂層狀況后,技術專家將確定石墨艇是否需要清洗,以及是否需要更換卡點。生產時,要清洗的船艇會交給設備人員進行清洗。
(2 )/ kloc-13/boat中硅片正常鍍膜顏色為藍色,晶圓內有非藍色、多種顏色或晶圓間色差大,均為異常鍍膜,需通過工藝確認異常原因。
(3)在確定石墨 boat需要清洗后,設備、生產和技術將檢查石墨 boat。2.1.5 石墨 boat損壞后,生產人員會將舟內的硅片全部取出,用CDA(壓縮空氣)檢查石墨 boat內的碎片。
(3) 石墨當該艇使用近100次時,操作者需要及時檢查涂層情況。如果涂層出現異常,需要進行清潔和確認。
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