真空系統(tǒng)工作時(shí)，先啟動(dòng)機(jī)械泵、維持泵和擴(kuò)散泵（加熱），同時(shí)打開(kāi)前閥和維持泵閥，對(duì)擴(kuò)散泵內(nèi)進(jìn)行抽真空。當(dāng)真空度達(dá)到系統(tǒng)某設(shè)定值時(shí)，羅茨泵啟動(dòng)，同時(shí)旁路閥打開(kāi)，前閥關(guān)閉，此時(shí)對(duì)真空室進(jìn)行抽低真空當(dāng)擴(kuò)散泵加熱至規(guī)定溫度并且真空度高于規(guī)定值時(shí)，高閥打開(kāi)，旁路閥關(guān)閉，前閥打開(kāi)。此時(shí)對(duì)真空室抽高真空，達(dá)到工藝要求的真空度以后，方可進(jìn)行熱處理工作。熱加工過(guò)程完成后，由熱交換器對(duì)真空室充入高純氮?dú)膺M(jìn)行強(qiáng)制冷卻，完成整個(gè)工藝過(guò)程。