真空熱處理爐是一種通過輻射加熱的設備，因此電熱元件的輻射性能直接決定了電熱元件的效率和性能，而輻射能力取決于物質的黑度，黑度越高，輻射能力越強，反之越弱，石墨的黑度為0.95、鉬為0.1 ~ 0.3、鎢為0.03 ~ 0.3、鉭為0.2 ~ 0.3，石墨最大。
另外，真空環境下各種材料都會加速揮發，而且隨著真空度提高，揮發程度相應地提高，形成各自物質的氣氛環境，限制了電熱元件的使用范圍，例如石墨電熱元件在真空環境中揮發會形成碳環境，要求不能滲碳或者不能和碳反應的熱處理就不能在這樣的加熱爐中進行。
材料的價格和是否豐富也常常是電熱元件材料選擇要考慮的因素，石墨是一種儲量豐富，價格低廉的材料，相比之下，鉬、鎢和鉭都顯得較為昂貴。