直拉法單晶硅生長工藝中，對于熱場的拆、裝，均為純?nèi)斯げ僮鳎F(xiàn)有的單晶爐熱場安裝方式由人工直接靠目視對中，安裝熱場時(shí)從爐底開始向上安裝，下部安裝對中質(zhì)量直接影響上部熱場的對中，影響單晶爐上部與導(dǎo)流筒的配合情況，嚴(yán)重可能導(dǎo)致導(dǎo)流筒石墨組件損壞，不對中影響加熱器到熱場四周距離的一致性，可能出現(xiàn)加熱器打火損壞和熱場溫度分布，影響單晶的拉制。